氧化鋁陶瓷是一種以氧化鋁為主體的結(jié)構(gòu)陶瓷,用以厚膜集成電路。氧化鋁陶瓷有較好的傳導(dǎo)性、沖擊韌性和耐高溫性。需注意要用超音波開展清洗。氧化鋁陶瓷是一種用途廣泛的瓷器,因為其優(yōu)越的特性,在當(dāng)代社會的運用已經(jīng)越來越普遍,滿足于日用和特殊性能的必須。
氧化鋁陶瓷分成高純型與通用型兩種。
高純型氧化鋁陶瓷系A(chǔ)l2O3含量在99.9%以上結(jié)構(gòu)陶瓷,因其煅燒溫度達到1650—1990℃,散射波長為1~6μm,一般制成熔化玻璃以替代鉑坩堝;利用其透光度及能耐堿金屬腐蝕性用作鈉燈管;在電子工業(yè)中可用作集成電路基板與高頻絕緣材料。
通用型氧化鋁陶瓷系按Al2O3含量不同分成99瓷、95瓷、90瓷、85瓷等種類,有時Al2O3含量在80%或75%者也劃歸一般氧化鋁陶瓷系列。其中99氧化鋁瓷材料用于制作高溫鉗鍋、防火爐管及獨特耐磨材料,如陶瓷軸承、陶瓷密封件及水閥片等;95氧化鋁瓷主要用作抗腐蝕、耐磨部件;85瓷中因為常摻加部分滑石,提升了電性能與沖擊韌性,能與鉬、鈮、鉭等金屬封接,有些用作電真空裝置器件。
加工工藝
粉體制取
將進廠的氧化鋁粉依照不同的商品要求與不同成型工藝制取成粉體材料。粉體粒度在1μm下列,若制造高純氧化鋁陶瓷產(chǎn)品除氧化鋁純度在99.99%外,還需超細粉碎且使其粒徑分布勻稱。選用擠壓成型或注入成型時,粉料中需引進粘結(jié)劑與可塑劑,一般為重量比在10-30%的熱塑性塑料或樹脂有機粘結(jié)劑是與氧化鋁粉體在150-200溫度下勻稱混和,以利于成型操作。選用熱壓工藝成型的粉體原料則不需添加粘結(jié)劑。若采用半自動或自動式干壓成型,對粉體有特殊的工藝標準,必須選用噴霧造粒法對粉體進行修復(fù)、使之展現(xiàn)球體狀,以利于提升粉體流通性便于成型中自動填充模壁。此外,為減少粉料與模壁的磨擦,還需添加1~2%的潤滑液,如硬脂酸,及粘結(jié)劑PVA。
欲干壓成型時要對粉體噴霧造粒,其中引入聚乙烯醇做為粘結(jié)劑。上海某研究所開發(fā)一種水溶性石臘用作Al203噴霧造粒的粘結(jié)劑,在加溫前提下有很好的流通性。噴霧造粒后的粉體需要具備流通性好、密度疏松,流動角磨擦溫度低于30℃。顆粒級配比理想等條件,以獲得較大素坯密度。
成型方式
氧化鋁陶瓷產(chǎn)品成型方式有干壓、灌漿、擠壓、冷等靜壓、注入、流延、壓合與熱等靜壓成型等多種方式。近幾年來國內(nèi)外又開發(fā)出壓濾成型、直接凝結(jié)注模成型、疑膠注成型、離心灌漿成型與固態(tài)隨意成型等成型技術(shù)方法。不同的商品形狀、規(guī)格、復(fù)雜造型與精度的商品必須不同的成型方式。